ES2000電動(dòng)平臺(tái)
 
技術(shù)參數(shù)：
電動(dòng)載物臺(tái)尺寸：S1000：W260*H29*D160（mm）
電動(dòng)載物臺(tái)X/Y移動(dòng)范圍：S1000：X120*Y80（mm）
步長(zhǎng)：X、Y方向最小0.2um
Z方向（聚焦）最小值優(yōu)于0.01um：
重復(fù)精度：X、Y方向優(yōu)于±2um
步進(jìn)電機(jī)參數(shù)：功耗5.7W、轉(zhuǎn)子慣量27gcm² 、步長(zhǎng)0.0079mm
操作方式：手動(dòng)、遙控手柄電機(jī)驅(qū)動(dòng)、計(jì)算機(jī)程序控制